سنسور سه‌محوره MEMS چیست؟ بررسی کامل عملکرد، انواع و کاربردها
مقدمه
اندازه‌گیری حرکت، شتاب و لرزش یکی از نیازهای مهم در بسیاری از تجهیزات الکترونیکی و صنعتی است. امروزه از سنسورهای کوچک و دقیقی برای تشخیص حرکت، لرزش، ضربه و تغییر وضعیت تجهیزات استفاده می‌شود که بخش بزرگی از آن‌ها بر پایه فناوری MEMS ساخته شده‌اند.
سنسورهای سه‌محوره MEMS یکی از پرکاربردترین انواع این سنسورها هستند. این سنسورها می‌توانند تغییرات شتاب را در سه جهت مختلف اندازه‌گیری کنند و اطلاعات مربوط به حرکت یا لرزش یک جسم را در اختیار سیستم قرار دهند.
سه محور معمولاً با نام‌های:
X، Y و Z
شناخته می‌شوند.
با استفاده از یک سنسور سه‌محوره می‌توان حرکت یا شتاب جسم را در سه جهت فضایی به صورت هم‌زمان اندازه‌گیری کرد.
اندازه کوچک، مصرف توان پایین، سرعت پاسخ مناسب و امکان اتصال مستقیم به میکروکنترلر باعث شده است سنسورهای سه‌محوره MEMS در تجهیزات الکترونیکی، صنعتی، خودرو، رباتیک، تجهیزات اندازه‌گیری و سیستم‌های مانیتورینگ کاربرد گسترده‌ای داشته باشند.
MEMS چیست؟
کلمه MEMS مخفف عبارت:
Micro-Electro-Mechanical Systems
به معنی سیستم‌های میکروالکترومکانیکی است.
در فناوری MEMS، قسمت‌های مکانیکی و الکترونیکی در ابعاد بسیار کوچک ساخته می‌شوند.
در سنسورهای شتاب‌سنج MEMS، ساختارهای مکانیکی بسیار کوچکی در داخل تراشه وجود دارند که با حرکت یا شتاب دستگاه جابه‌جا می‌شوند.
این تغییر مکان توسط مدار الکترونیکی داخل سنسور تشخیص داده شده و به یک سیگنال قابل پردازش تبدیل می‌شود.
به همین دلیل یک سنسور MEMS می‌تواند در ابعاد بسیار کوچک، اطلاعات مربوط به حرکت و شتاب را اندازه‌گیری کند.
سنسور سه‌محوره چیست؟
سنسور سه‌محوره سنسوری است که می‌تواند یک کمیت مانند شتاب یا حرکت را در سه جهت فضایی اندازه‌گیری کند.
این سه جهت عبارت‌اند از:
- محور X
- محور Y
- محور Z
به عنوان مثال، اگر یک شتاب‌سنج سه‌محوره روی یک دستگاه نصب شود، می‌تواند تغییرات شتاب دستگاه را در هر سه جهت ثبت کند.
این ویژگی باعث می‌شود اطلاعات بسیار کامل‌تری نسبت به یک سنسور تک‌محوره در اختیار سیستم قرار گیرد.
شتاب‌سنج سه‌محوره MEMS
یکی از رایج‌ترین انواع سنسورهای سه‌محوره MEMS، شتاب‌سنج سه‌محوره است.
این سنسور شتاب واردشده به دستگاه را در سه محور اندازه‌گیری می‌کند.
برای مثال اگر یک دستگاه در جهت X حرکت کند، تغییرات محور X قابل مشاهده خواهد بود.
اگر دستگاه در جهت Z دچار لرزش شود، تغییرات مربوط به محور Z اندازه‌گیری می‌شود.
بنابراین می‌توان حرکت سه‌بعدی دستگاه را با استفاده از یک تراشه کوچک بررسی کرد.
ساختار داخلی سنسور MEMS
داخل یک شتاب‌سنج MEMS معمولاً یک ساختار مکانیکی بسیار کوچک وجود دارد.
یکی از بخش‌های مهم این ساختار، جرمی بسیار کوچک است که به صورت میکروسکوپی معلق یا متصل به ساختارهای انعطاف‌پذیر قرار گرفته است.
هنگامی که سنسور شتاب می‌گیرد، این جرم تمایل دارد به دلیل اینرسی نسبت به ساختار اصلی جابه‌جا شود.
این جابه‌جایی توسط ساختارهای داخلی سنسور تشخیص داده می‌شود.
سپس مدار الکترونیکی داخل تراشه این تغییر را پردازش کرده و مقدار شتاب را محاسبه می‌کند.
سنسور MEMS چگونه شتاب را اندازه‌گیری می‌کند؟
روش دقیق اندازه‌گیری به نوع سنسور بستگی دارد، اما در بسیاری از سنسورهای MEMS از تغییرات خازنی استفاده می‌شود.
در این ساختار، حرکت بسیار کوچک قسمت مکانیکی باعث تغییر ظرفیت خازنی می‌شود.
مدار داخلی سنسور این تغییر را تشخیص داده و به مقدار شتاب تبدیل می‌کند.
به صورت ساده:
شتاب → جابه‌جایی مکانیکی → تغییر ظرفیت → مدار الکترونیکی → خروجی دیجیتال یا آنالوگ
این فرآیند در ابعاد بسیار کوچک داخل تراشه انجام می‌شود.
چرا سنسور سه‌محوره اهمیت دارد؟
حرکت واقعی یک جسم معمولاً فقط در یک جهت اتفاق نمی‌افتد.
یک دستگاه ممکن است هم‌زمان:
- حرکت کند
- لرزش داشته باشد
- تغییر جهت دهد
- ضربه دریافت کند
- چرخش داشته باشد
استفاده از سنسور سه‌محوره امکان بررسی حرکت در سه جهت را فراهم می‌کند.
به همین دلیل در بسیاری از سیستم‌ها استفاده از یک سنسور سه‌محوره نسبت به استفاده از چند سنسور تک‌محوره ساده‌تر و اقتصادی‌تر است.
محورهای X، Y و Z
در سنسورهای سه‌محوره، جهت‌گیری سنسور اهمیت زیادی دارد.
سه محور اصلی عبارت‌اند از:
X: حرکت در یک جهت افقی
Y: حرکت در جهت افقی عمود بر X
Z: حرکت در جهت عمودی نسبت به صفحه سنسور
جهت دقیق این محورها به نحوه طراحی و نصب سنسور بستگی دارد و معمولاً روی دیتاشیت یا بدنه ماژول مشخص می‌شود.
هنگام طراحی سیستم باید جهت محورهای سنسور مشخص باشد تا داده‌ها به درستی تفسیر شوند.
واحد اندازه‌گیری شتاب
شتاب معمولاً با واحد:
m/s²
اندازه‌گیری می‌شود.
اما در بسیاری از سنسورهای MEMS از واحد:
g
استفاده می‌شود.
در اینجا g شتاب گرانش زمین است و مقدار آن تقریباً:
9.81 m/s²
در نظر گرفته می‌شود.
بنابراین:
1g ≈ 9.81 m/s²
برای مثال سنسوری با محدوده ±2g می‌تواند شتاب‌های بین تقریباً:
-2g تا +2g
را اندازه‌گیری کند.
محدوده اندازه‌گیری سنسور
یکی از مهم‌ترین مشخصات سنسورهای شتاب‌سنج، محدوده اندازه‌گیری است.
مقادیر رایج شامل:
- ±2g
- ±4g
- ±8g
- ±16g
و در برخی سنسورها محدوده‌های بالاتر نیز وجود دارد.
انتخاب محدوده مناسب به کاربرد بستگی دارد.
برای اندازه‌گیری حرکت‌های معمولی، محدوده‌های پایین‌تر می‌توانند دقت و حساسیت مناسبی ارائه دهند.
برای اندازه‌گیری ضربه و شتاب‌های شدید، به محدوده بالاتری نیاز است.
دقت و حساسیت سنسور MEMS
دقت و حساسیت از پارامترهای مهم هنگام انتخاب سنسور سه‌محوره هستند.
حساسیت مشخص می‌کند سنسور نسبت به تغییرات شتاب چقدر پاسخ می‌دهد.
در کاربردهایی مانند:
- اندازه‌گیری لرزش
- تشخیص حرکت‌های کوچک
- تجهیزات اندازه‌گیری
- مانیتورینگ صنعتی
انتخاب سنسوری با مشخصات مناسب اهمیت زیادی دارد.
رزولوشن سنسور
رزولوشن مشخص می‌کند سنسور تا چه اندازه می‌تواند تغییرات کوچک شتاب را تشخیص دهد.
در سنسورهای دیجیتال، رزولوشن خروجی معمولاً با تعداد بیت ADC داخلی یا رابط دیجیتال مرتبط است.
هرچه رزولوشن مناسب‌تر باشد، امکان مشاهده تغییرات کوچک‌تر شتاب بهتر خواهد بود.
البته رزولوشن بالا به تنهایی به معنی دقت بالاتر نیست و پارامترهایی مانند نویز، Offset و کیفیت طراحی سیستم نیز اهمیت دارند.
خروجی سنسورهای سه‌محوره MEMS
سنسورهای MEMS می‌توانند دارای خروجی‌های مختلفی باشند.
برخی مدل‌ها خروجی:
- آنالوگ
- I²C
- SPI
دارند.
در سنسورهای دیجیتال، اطلاعات مربوط به محورهای X، Y و Z مستقیماً از طریق رابط ارتباطی در اختیار میکروکنترلر قرار می‌گیرد.
این موضوع اتصال سنسور به سیستم‌های دیجیتال را بسیار ساده می‌کند.
رابط I²C
I²C یکی از رابط‌های رایج در سنسورهای MEMS است.
این رابط به دو خط اصلی نیاز دارد:
- SDA
- SCL
مزیت I²C این است که با تعداد کمی سیم می‌توان سنسور را به میکروکنترلر متصل کرد.
این رابط برای بسیاری از کاربردهای عمومی و سیستم‌هایی که سرعت بسیار بالای انتقال داده نیاز ندارند، مناسب است.
رابط SPI
SPI نیز یکی از رابط‌های پرکاربرد در سنسورهای MEMS است.
در حالت معمول شامل خطوط:
- SCLK
- MOSI
- MISO
- CS
است.
SPI معمولاً سرعت ارتباط بالاتری نسبت به I²C ارائه می‌دهد و برای سیستم‌هایی که نرخ نمونه‌برداری بالاتر دارند می‌تواند گزینه مناسبی باشد.
در کاربردهای اندازه‌گیری لرزش و شتاب، سرعت خواندن داده اهمیت زیادی دارد.
سنسور سه‌محوره و STM32
سنسورهای سه‌محوره MEMS به خوبی با میکروکنترلرهایی مانند STM32 قابل استفاده هستند.
ساختار یک سیستم معمولی می‌تواند به شکل زیر باشد:
MEMS Sensor → SPI/I²C → STM32 → پردازش داده → ذخیره یا نمایش
STM32 می‌تواند اطلاعات هر سه محور را دریافت کرده و پردازش کند.
برای مثال:
X = 0.15g
Y = -0.03g
Z = 1.02g
این اطلاعات می‌توانند برای تحلیل حرکت یا لرزش مورد استفاده قرار گیرند.
نرخ نمونه‌برداری
یکی از مشخصات مهم در انتخاب سنسور سه‌محوره، نرخ نمونه‌برداری یا ODR است.
ODR مشخص می‌کند سنسور در هر ثانیه چند بار داده جدید تولید می‌کند.
برای مثال:
100 Hz
یعنی تقریباً 100 نمونه در ثانیه.
یا:
1000 Hz
یعنی تقریباً 1000 نمونه در ثانیه.
برای حرکت‌های آهسته، نرخ نمونه‌برداری پایین‌تر ممکن است کافی باشد.
اما برای اندازه‌گیری لرزش‌های سریع، باید از سنسوری با نرخ نمونه‌برداری مناسب استفاده کرد.
سنسور MEMS برای اندازه‌گیری لرزش
یکی از کاربردهای مهم شتاب‌سنج‌های سه‌محوره، اندازه‌گیری لرزش است.
با نصب سنسور روی یک دستگاه می‌توان تغییرات شتاب را در سه جهت ثبت کرد.
اطلاعات لرزش می‌تواند برای بررسی وضعیت:
- موتور
- پمپ
- گیربکس
- فن
- کمپرسور
- ماشین‌آلات
استفاده شود.
تحلیل لرزش با سنسور سه‌محوره
داده‌های X، Y و Z را می‌توان در طول زمان ذخیره کرد.
سپس با بررسی این داده‌ها می‌توان:
- دامنه لرزش
- فرکانس لرزش
- تغییرات شتاب
- ضربه‌ها
- الگوی حرکت
را بررسی کرد.
در سیستم‌های پیشرفته‌تر می‌توان از روش‌های پردازش سیگنال مانند FFT نیز برای تحلیل فرکانسی استفاده کرد.
سنسور سه‌محوره در دیتالاگر
سنسورهای MEMS یکی از گزینه‌های مناسب برای ساخت دیتالاگرهای حرکت و لرزش هستند.
یک دیتالاگر می‌تواند داده‌های X، Y و Z را با نرخ نمونه‌برداری مشخص دریافت کرده و روی حافظه ذخیره کند.
برای مثال:
X, Y, Z → ADC/Interface → MCU → SD Card
اطلاعات ذخیره‌شده می‌توانند بعداً در کامپیوتر بررسی شوند.
این روش برای ثبت رفتار ماشین‌آلات در طول زمان بسیار کاربردی است.
سنسور MEMS در نگهداری پیشگیرانه
اندازه‌گیری لرزش یکی از روش‌های مهم برای بررسی وضعیت ماشین‌آلات است.
افزایش یا تغییر الگوی لرزش می‌تواند در برخی شرایط نشانه تغییر وضعیت تجهیز باشد.
برای مثال تغییر لرزش یک موتور ممکن است با مشکلاتی مانند:
- عدم بالانس
- مشکلات مکانیکی
- خرابی یاتاقان
- شل بودن اتصالات
- مشکلات چرخشی
مرتبط باشد.
به همین دلیل سنسورهای MEMS می‌توانند بخشی از سیستم‌های مانیتورینگ وضعیت تجهیزات باشند.
کاربرد در خودرو
سنسورهای MEMS در صنعت خودرو کاربرد بسیار گسترده‌ای دارند.
از جمله کاربردها:
- تشخیص حرکت
- کنترل پایداری
- تشخیص ضربه
- سیستم‌های ایمنی
- اندازه‌گیری شتاب
- سیستم‌های کمک‌راننده
- تشخیص وضعیت خودرو
کوچک بودن سنسور و امکان تولید انبوه باعث شده MEMS گزینه بسیار مناسبی برای تجهیزات الکترونیکی خودرو باشد.
کاربرد در رباتیک
ربات‌ها برای شناخت حرکت و وضعیت خود به اطلاعات سنسورها نیاز دارند.
یک شتاب‌سنج سه‌محوره می‌تواند اطلاعات مربوط به حرکت خطی و تغییرات شتاب ربات را فراهم کند.
در کنار ژیروسکوپ و سایر سنسورها، اطلاعات MEMS می‌تواند برای تخمین وضعیت ربات استفاده شود.
کاربردهای آن شامل:
- ربات‌های صنعتی
- ربات‌های متحرک
- پهپادها
- سیستم‌های تعادل
- تجهیزات خودکار
است.
تفاوت شتاب‌سنج و ژیروسکوپ
این دو سنسور معمولاً در سیستم‌های حرکتی در کنار یکدیگر استفاده می‌شوند.
شتاب‌سنج:
شتاب خطی را اندازه‌گیری می‌کند.
ژیروسکوپ:
سرعت زاویه‌ای یا نرخ چرخش را اندازه‌گیری می‌کند.
برای مثال اگر یک جسم به دور محور خود بچرخد، ژیروسکوپ اطلاعات مناسبی درباره این چرخش ارائه می‌دهد.
در بسیاری از سیستم‌ها از هر دو سنسور استفاده می‌شود تا اطلاعات کامل‌تری درباره حرکت به دست آید.
IMU چیست؟
گاهی چند سنسور MEMS در یک تراشه با یکدیگر ترکیب می‌شوند.
برای مثال یک IMU می‌تواند شامل:
- شتاب‌سنج سه‌محوره
- ژیروسکوپ سه‌محوره
باشد.
در برخی مدل‌ها سنسورهای دیگری نیز وجود دارند.
این تجهیزات امکان اندازه‌گیری حرکت و وضعیت جسم را با اطلاعات بیشتری فراهم می‌کنند.
سنسور سه‌محوره و تشخیص جهت
شتاب‌سنج می‌تواند در شرایطی برای تخمین جهت نسبت به گرانش زمین نیز استفاده شود.
وقتی دستگاه ثابت است، نیروی گرانش روی محورهای سنسور توزیع می‌شود.
با بررسی مقادیر X، Y و Z می‌توان زاویه تقریبی دستگاه نسبت به زمین را محاسبه کرد.
این روش برای کاربردهایی مانند:
- تشخیص شیب
- تشخیص وضعیت دستگاه
- کنترل تعادل
- تجهیزات الکترونیکی
مورد استفاده قرار می‌گیرد.
فیلتر کردن داده‌های MEMS
داده‌های سنسورهای MEMS ممکن است دارای مقداری نویز باشند.
برای کاهش نویز می‌توان از روش‌های مختلفی مانند:
- فیلتر میانگین
- Low-Pass Filter
- Moving Average
- فیلترهای دیجیتال
- فیلترهای نرم‌افزاری
استفاده کرد.
انتخاب فیلتر به نوع کاربرد و سرعت تغییرات سیگنال بستگی دارد.
در اندازه‌گیری لرزش، فیلتر باید با دقت انتخاب شود تا اطلاعات واقعی سیگنال از بین نرود.
کالیبراسیون سنسور MEMS
برای دستیابی به اندازه‌گیری دقیق‌تر، کالیبراسیون سنسور اهمیت دارد.
برخی خطاهای رایج شامل:
- Offset
- اختلاف حساسیت محورها
- خطای Scale
- عدم هم‌راستایی محورها
هستند.
در بسیاری از کاربردها می‌توان با اندازه‌گیری چند وضعیت مشخص و اعمال ضرایب اصلاح در نرم‌افزار، دقت سیستم را بهبود داد.
Offset چیست؟
حتی زمانی که شتاب واقعی صفر باشد، ممکن است سنسور مقدار صفر کاملاً دقیق را نشان ندهد.
به این اختلاف:
Offset
گفته می‌شود.
برای مثال اگر دستگاه ثابت باشد ولی سنسور مقدار:
0.05g
را نشان دهد، می‌توان این مقدار را به عنوان بخشی از Offset در نظر گرفت.
در کاربردهای دقیق، اصلاح Offset اهمیت زیادی دارد.
تأثیر دما روی MEMS
تغییرات دما می‌تواند روی عملکرد سنسور MEMS تأثیر بگذارد.
پارامترهایی مانند:
- Offset
- حساسیت
- نویز
ممکن است با تغییر دما تغییر کنند.
در کاربردهای صنعتی و اندازه‌گیری دقیق، باید مشخصات دمایی سنسور مورد توجه قرار گیرد.
برخی سنسورها دارای جبران‌سازی داخلی دما هستند که می‌تواند عملکرد را در محدوده کاری مشخص بهبود دهد.
سنسور MEMS در محیط صنعتی
در کاربردهای صنعتی، سنسور باید علاوه بر مشخصات الکتریکی، از نظر شرایط محیطی نیز مناسب باشد.
موارد مهم شامل:
- محدوده دمای کاری
- مقاومت در برابر ضربه
- مقاومت در برابر لرزش
- رطوبت
- نویز الکترومغناطیسی
- روش نصب
هستند.
در کاربردهای صنعتی حساس، انتخاب یک سنسور مناسب بر اساس دیتاشیت اهمیت زیادی دارد.
انتخاب سنسور سه‌محوره مناسب
هنگام انتخاب سنسور سه‌محوره MEMS باید چند مشخصه اصلی بررسی شود.
محدوده شتاب
باید مشخص شود بیشترین شتاب مورد انتظار چه مقدار است.
نرخ نمونه‌برداری
برای اندازه‌گیری لرزش‌های سریع، ODR مناسب اهمیت زیادی دارد.
رزولوشن
برای تشخیص تغییرات کوچک شتاب باید رزولوشن مناسب انتخاب شود.
نویز
در کاربردهای اندازه‌گیری دقیق، میزان نویز سنسور اهمیت زیادی دارد.
رابط ارتباطی
باید مشخص شود سیستم از I²C، SPI یا رابط دیگری استفاده می‌کند.
مصرف توان
در تجهیزات قابل حمل و باتری‌محور، مصرف انرژی اهمیت بیشتری پیدا می‌کند.
محدوده دمایی
سنسور باید در دمای محیط کاری عملکرد مناسبی داشته باشد.
کاربردهای سنسور سه‌محوره MEMS
سنسورهای سه‌محوره MEMS در حوزه‌های مختلفی مورد استفاده قرار می‌گیرند.
برخی از مهم‌ترین کاربردها عبارت‌اند از:
- اندازه‌گیری شتاب
- اندازه‌گیری لرزش
- مانیتورینگ ماشین‌آلات
- دیتالاگرهای صنعتی
- رباتیک
- پهپادها
- تجهیزات خودرو
- سیستم‌های کنترل حرکت
- تشخیص ضربه
- تشخیص شیب
- تجهیزات اندازه‌گیری
- سیستم‌های IoT
- تجهیزات پوشیدنی
- تجهیزات هوشمند
- سیستم‌های نگهداری پیشگیرانه
مزایای سنسورهای سه‌محوره MEMS
مهم‌ترین مزایای این سنسورها عبارت‌اند از:
- ابعاد کوچک
- وزن کم
- مصرف توان پایین
- اندازه‌گیری سه محور به صورت هم‌زمان
- امکان ارتباط دیجیتال
- سرعت نمونه‌برداری مناسب
- قابلیت اتصال به میکروکنترلرها
- قیمت مناسب در بسیاری از مدل‌ها
- مناسب برای سیستم‌های قابل حمل
- قابلیت استفاده در سیستم‌های صنعتی
نکات مهم هنگام خرید سنسور سه‌محوره MEMS
قبل از خرید باید مشخصات فنی محصول بررسی شود.
مهم‌ترین موارد عبارت‌اند از:
نوع سنسور
مشخص شود سنسور فقط شتاب‌سنج است یا شامل ژیروسکوپ و سایر سنسورها نیز می‌شود.
محدوده اندازه‌گیری
بر اساس بیشترین شتاب مورد انتظار انتخاب شود.
تعداد محور
برای کاربردهای سه‌بعدی، سنسور سه‌محوره انتخاب شود.
نرخ نمونه‌برداری
با توجه به سرعت تغییرات سیگنال انتخاب شود.
رابط ارتباطی
I²C یا SPI بر اساس سخت‌افزار سیستم انتخاب شود.
دقت و نویز
برای کاربردهای اندازه‌گیری دقیق اهمیت بیشتری دارد.
محدوده دمایی
با شرایط محیط کاری مطابقت داشته باشد.
نوع پکیج
برای طراحی PCB و شرایط نصب باید مناسب باشد.
سنسور سه‌محوره MEMS برای پروژه‌های اندازه‌گیری
اگر هدف ساخت یک سیستم اندازه‌گیری یا دیتالاگر باشد، سنسور سه‌محوره MEMS می‌تواند یک راهکار مناسب و کم‌حجم باشد.
یک سیستم می‌تواند داده‌های سه محور را با نرخ نمونه‌برداری مشخص دریافت کرده و پس از پردازش، آن‌ها را روی حافظه ذخیره کند.
برای مثال:
MEMS → SPI → STM32 → Buffer → SD Card
سپس اطلاعات ذخیره‌شده می‌تواند برای تحلیل حرکت و لرزش در کامپیوتر مورد استفاده قرار گیرد.
جمع‌بندی
سنسورهای سه‌محوره MEMS یکی از مهم‌ترین فناوری‌های مورد استفاده برای اندازه‌گیری حرکت و شتاب در تجهیزات الکترونیکی و صنعتی هستند.
این سنسورها با استفاده از ساختارهای میکروالکترومکانیکی می‌توانند شتاب را در سه محور X، Y و Z اندازه‌گیری کنند و اطلاعات آن را به صورت آنالوگ یا دیجیتال در اختیار سیستم قرار دهند.
ابعاد کوچک، وزن کم، مصرف انرژی مناسب، قابلیت ارتباط با میکروکنترلرها و امکان نمونه‌برداری با سرعت بالا باعث شده است این سنسورها در حوزه‌هایی مانند رباتیک، خودرو، دیتالاگر، تجهیزات صنعتی، مانیتورینگ لرزش و سیستم‌های هوشمند کاربرد گسترده‌ای داشته باشند.
در هنگام انتخاب سنسور سه‌محوره MEMS باید به عواملی مانند محدوده اندازه‌گیری، نرخ نمونه‌برداری، رزولوشن، نویز، رابط ارتباطی، محدوده دمایی و شرایط محیطی توجه کرد.
برای کاربردهای اندازه‌گیری لرزش نیز علاوه بر انتخاب سنسور مناسب، نرخ نمونه‌برداری و روش پردازش داده اهمیت بسیار زیادی دارد.
در نهایت، یک سنسور سه‌محوره MEMS مناسب می‌تواند اطلاعات ارزشمندی درباره حرکت، شتاب و لرزش تجهیزات در اختیار سیستم قرار دهد و به عنوان بخش مهمی از یک سیستم اندازه‌گیری، دیتالاگر یا سامانه مانیتورینگ مورد استفاده قرار گیرد.
